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Thermoelectrical Effect in SiC for High-Temperature MEMS Sensors (Dinh, Toan / Nguyen, Nam-Trung / Dao, Dzung Viet)
Thermoelectrical Effect in SiC for High-Temperature MEMS Sensors
Autor Dinh, Toan / Nguyen, Nam-Trung / Dao, Dzung Viet
Verlag Springer Nature Singapore
Sprache Englisch
Mediaform PDF
Erscheinungsjahr 2018
Seiten 115 S.
Artikelnummer 29021575
Verlagsartikelnummer 978-981-13-2571-7
ISBN 978-981-1325-71-7
Plattform PDF
Reihe SpringerBriefs in Applied Sciences and Technology; Chemistry and Materials Science; Chemistry and Material Science (R0)
Kopierschutz Wasserzeichen
CHF 59.00
Zusammenfassung

This book presents the fundamentals of the thermoelectrical effect in silicon carbide (SiC), including the thermoresistive, thermoelectric, thermocapacitive and thermoelectronic effects. It summarizes the growth of SiC, its properties and fabrication processes for SiC devices and introduces the thermoelectrical sensing theories in different SiC morphologies and polytypes. Further, it reviews the recent advances in the characterization of the thermoelectrical effect in SiC at high temperatures. Discussing several desirable features of thermoelectrical SiC sensors and recent developments in these sensors, the book provides useful guidance on developing high sensitivity and linearity, fast-response SiC sensing devices based on thermoelectrical effects.